汽化器、使用汽化器的各种装置以及汽化方法

摘要

一种可长期使用而不会阻塞、并且能够向反应部稳定供给原料的汽化器包括分散部(8)，所述分散部包括：形成在分散部本体(1)内部的气体通道(2)，将加压运载气体(3)引入气体通道(2)的气体入口(4)，将原料溶液(5)供给到流过气体通道(2)的运载气体的装置(6)，将包括原料溶液(5)的运载气体送到汽化部(22)的气体出口(7)，和用于冷却在气体通道(2)内流动的运载气体的装置(18)；用于加热和汽化从分散部送来的包括雾化的原料溶液的运载气体的汽化部(22)，所述汽化部包括其一端与诸如沉积装置的各种装置的反应部连接、另一端与所述气体出口(7)连接的汽化管(20)，和用于加热汽化管(20)的加热装置(21)；以及安装在所述气体出口(7)外侧的具有小孔(101)的防辐射部件(102)。

主权项

1、一种汽化器，它设置有位于气体出口外侧带有小孔的防辐射部件，所述汽化器具有：(1)分散部，所述分散部包括：形成在内部的气体通道；将运载气体引入气体通道的气体入口；将原料溶液供给到气体通道的装置；将包括原料溶液的运载气体送到汽化部的气体出口；和用于冷却气体通道的装置；以及(2)用于加热和汽化从所述分散部送来的包括雾化的原料溶液的运载气体的汽化部，所述汽化部包括：其一端与诸如沉积装置的各种装置的反应部连接、另一端与所述气体出口连接的汽化管；以及用于加热汽化管的加热装置。