一种大行程精密工件台装置与驱动方法

摘要

本发明的大行程精密工件台装置能广泛应用于精密测量和精密运动控制领域。本发明的精密工件台装置的流体动力驱动的精动机构(501)由负载连接头(502)连接在粗动机构后面，粗动机构(503)由负载连接头(504)连接于承载平台(506)，粗动机构(503)和承载平台(506)的运动导轨(507)、(508)一起与固定导轨(509)形成相对运动副，位置检测器(511)、固定导轨(509)和精动机构(501)固定在底座(510)上，先由控制器(512)控制粗动机构(503)进行位置的粗定位，当达到设定的位置范围后，启动精动机构(501)进行精确定位，最终达到定位目标。

主权项

1.一种大行程精密工件台装置，它是由驱动源、进给机构、载物平台和导轨、控制器和位置检测器组成，驱动源提供驱动动力给进给机构，进给机构带动载物平台在导轨上运动，位置检测器检测出承载了物件的载物平台的位置量，控制器依据控制算法和位置检测器反馈的位置量，对物件或载物平台的运动进行控制，其特征在于：进给机构是由粗动机构、精动机构串接组成，粗动机构安装在载物平台和精动机构之间，粗动机构推动载物平台，精动机构推动粗动机构和载物平台，载物平台和粗动机构都有运动导轨与固定导轨形成相对运动，精动机构和固定导轨都固定在底座上。