真空压缩室光栅失调的监控调节装置及方法

摘要

一种高能拍瓦系统里真空压缩室光栅失调的监控调节装置，光束经过分光棱镜，然后打入远场探测系统进行校准，校准完成之后，旋转分光棱镜方向。光束以一定入射角通过单通双平行光栅对压缩器结构，在两块光栅对之间用一块半反半透镜进行分束，反射的光束沿原路返回，依次打入自相关仪和上述远场探测系统(其中远场探测系统由法布里珀罗干涉仪、消色散镜、显微物镜、CCD组成)；透射的光束经过后一对光栅对后，同样打入自相关仪和远场探测系统，其中每块光栅均由步进电机控制其沿三维角度方向的旋转。该发明具有以下特点：①结构简单、②允许四块光栅任意维角度的失调、③监测光路与主光路分离、④自动化调节步骤以及⑤精度高。

主权项

一种高能拍瓦系统里真空压缩室光栅失调的监控调节装置，特征在于其构成包括分光棱镜(1)、第一半反半透镜(2)、第一远场探测系统(3)、第一自相关仪(4)、第三半反半透镜(12)、第四半反半透镜(13)、第二远场探测系统(15)、第二自相关仪(14)、由第一光栅(5)、第二光栅(6)第三光栅(7)、第四光栅(8)构成的双通单平行光栅对压缩器，以及放置在该第二光栅(6)和第三光栅(7)之间的第一平面镜(9)、第二半反半透镜(10)和第二平面镜(11)，所述的双通单平行光栅对压缩器放置于真空压缩室内，所述的分光棱镜(1)、第一光栅(5)、第二光栅(6)第三光栅(7)和第四光栅(8)分别置于三维调整架上；监测光束经所述的分光棱镜(1)分为反射光束A₁和透射光束A₂，反射光束A₁进入所述的第一远场探测系统(3)，透射光束A₂经第一半反半透镜(2)后进入真空压缩室，依次经所述的第一光栅(5)、第二光栅(6)和第一平面镜(9)，射入到所述的第二半反半透镜(10)，该第二半反半透镜(10)将透射光束A₂分为反射光束A₂₁和透射光束A₂₂，透射光束A₂₂依次经所述的第二平面镜(11)、第三光栅(7)和第四光栅(8)，入射到第三半反半透镜(12)，经第三半反半透镜(12)分别反射光束A₃和透射光束A₄，反射光束A₃进入所述的第二自相关仪(14)，透射光束A₄经所述的第四半反半透镜(13)进入所述的第二远场探测系统(15)；反射光束A₂₁沿原光路返回，依次经所述的第二光栅(6)和第一光栅(5)出射后经第一半透半反镜(2)分束，其中反射光束A₂₁₁进入第一自相关仪(4)中，透射光束A₂₁₂通过旋转90°后的分光棱镜(1)反射进入第一远场探测系统(3)中。