使用追踪式激光干涉计的测量系统及其恢复方法

摘要

本发明提供使用追踪式激光干涉计的测量系统及其恢复方法。在使用利用追踪式激光干涉计的测量系统来进行测量的情况下，向反光镜照射激光，使追踪式激光干涉计处于追踪状态，并且将移动体移动至期望的点，并且对在单个期望的位置处的移动体的位置数据和来自追踪式激光干涉计的双轴转动部的转动位置数据的组合进行存储。在接收光判断部判断为光量存在异常的情况下，保持移动体和双轴转动部的位置，并且使移动体和双轴转动部移动至所存储的各自的预定位置。在移动之后消除了所接收到的光量的异常的情况下，使追踪式激光干涉计处于追踪状态，并且再次开始测量。

主权项

一种使用追踪式激光干涉计的测量系统，包括：工业机械，其包括：移动体，其被配置为相对于对象移动；以及移动部，其被配置为使所述移动体相对于所述对象移动，追踪式激光干涉计，其包括：反光镜，其安装于所述移动体上；检测部，其被配置为向所述反光镜照射激光，并且还被配置为利用所述反光镜在返回方向上所反射的激光的干涉来检测移位；光学追踪部，其具有被配置为检测激光的光轴的位置偏移的光学位置检测部；双轴转动部，其具有相互正交的轴并且被配置为改变所述激光的出射方向；以及角度检测部，其设置于所述双轴转动部的各轴上，其中，所述追踪式激光干涉计被配置为在所述移动部使所述移动体相对于所述对象移动的情况下，通过所述光学位置检测部来检测所述反光镜在所述返回方向上所反射的激光的光轴的位置偏移，并且所述双轴转动部被控制成将激光的光轴的位置偏移限制在预定的范围内，接收光判断部，其被配置为基于所述光学位置检测部的接收光信号，来判断从所述反光镜反射的光量是否存在异常，以及存储部，其被配置为在所述移动体被移动至多个位置的情况下，获得并存储各个位置处的所述工业机械的位置数据、从所述追踪式激光干涉计到所述反光镜的距离和当时的双轴角度位置数据。