| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE PRODUCTION METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04261025(A) |
申请公布日期 |
1992.09.17 |
| 申请号 |
JP19910006839 |
申请日期 |
1991.01.24 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
HAGI KIMIO;OBATA MASANORI;TAKESHITA NAOHIKO |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
