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经营范围
发明名称
FABRICATION DEVICE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH04261021(A)
申请公布日期
1992.09.17
申请号
JP19910006838
申请日期
1991.01.24
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KANEOKA TATSUNORI;HAYASHIDE YOSHIO
分类号
H01L21/316
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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