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经营范围
发明名称
Apparatus for light exposure in making thin film transistors
摘要
申请公布号
GB2347227(A)
申请公布日期
2000.08.30
申请号
GB20000011179
申请日期
1996.12.11
申请人
* HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD.
发明人
CHEOL-HEE * PARK;JONG-SEOK * JANG
分类号
H01L21/027;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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