发明名称 Verfahren zum lithographischen Erzeugen von Nano- und/oder Mikrostrukturen, Stempel sowie Substrat
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum lithographischen Erzeugen von Nano- und/oder Mikrostrukturen (9) auf einem Substrat (1) mit einer dreidimensionalen Makro-Oberfläche. Das Verfahren ist gekennzeichnet durch: Aufbringen einer zu strukturierenden Substanz (4) auf das Substrat (1) und Positionieren des Substrates (1) relativ zu einem Stempel (5) mit einer zumindest abschnittsweise zur Makro-Oberfläche (2) des Substrates (1) formkongruenten dreidimensionalen Makro-Oberfläche (6), die mit einer Negativ-Nano- und/oder Mikrostruktur (8) versehen ist, und Prägen der Negativ-Nano- und/oder Mikrostruktur (8) des Stempels in die Substanz (4) und dadurch Erzeugen der Nano- und/oder Mikrostruktur (9) in der Substanz (4). Ferner betrifft die Erfindung einen Stempel (5) sowie ein Substrat (1).
申请公布号 DE102007044505(A1) 申请公布日期 2009.03.19
申请号 DE200710044505 申请日期 2007.09.18
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 PIRK, TJALF;MAY, JOHANNA
分类号 B81C1/00;B81B1/00;B81C99/00;B82B3/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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