发明名称 Regelung des Strahlmitteldurchsatzes einer Strahlanlage
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Justierung oder zum Betrieb eines Partikelmenge abmessenden Durchlasssystems für eine Partikelstrahlanlage insbesondere einer Strahlanlage zur Bearbeitung von Oberflächen, dessen Durchsatz an Strahlmittel über eine Zeit und/oder Größen veränderbare Durchlassöffnung vorgegeben wird und mittels eines nachangeordneten Durchsatzsensors als Durchsatzsensorsignal (DS) bestimmt wird, wobei das Durchsatzsensorsignal (DS) zur Regelung einer Stellgröße (SG) für den Einstellgrad der Durchlassöffnung verwendet wird, wobei zur Justierung des Durchlasssystems für mindestens einen Wert der Stellgröße (SG) der tatsächliche Durchsatz (D) durch die Durchlassöffnung, mittels einer Messung des durchgelassenen Strahlmittelgewichts (M) innerhalb einer definierten Zeitspanne (Dt) bestimmt wird, und die Stellgröße (SG), der tatsächliche Durchsatz (D) und das entsprechende Durchsatzsensorsignal (DS) in einer Zuordnungstabelle abgelegt werden, wobei die Beziehungen zwischen tatsächlichem Durchsatz (D), der Stellgröße (SG) sowie dem Durchsatzsensorsignal (DS) beim darauffolgenden Betrieb verwendet werden.
申请公布号 DE102015000632(A1) 申请公布日期 2016.07.28
申请号 DE20151000632 申请日期 2015.01.22
申请人 sentenso GmbH 发明人 Schneidau, Volker
分类号 B24C7/00;G01F1/30;G01N15/00 主分类号 B24C7/00
代理机构 代理人
主权项
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