摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Justierung oder zum Betrieb eines Partikelmenge abmessenden Durchlasssystems für eine Partikelstrahlanlage insbesondere einer Strahlanlage zur Bearbeitung von Oberflächen, dessen Durchsatz an Strahlmittel über eine Zeit und/oder Größen veränderbare Durchlassöffnung vorgegeben wird und mittels eines nachangeordneten Durchsatzsensors als Durchsatzsensorsignal (DS) bestimmt wird, wobei das Durchsatzsensorsignal (DS) zur Regelung einer Stellgröße (SG) für den Einstellgrad der Durchlassöffnung verwendet wird, wobei zur Justierung des Durchlasssystems für mindestens einen Wert der Stellgröße (SG) der tatsächliche Durchsatz (D) durch die Durchlassöffnung, mittels einer Messung des durchgelassenen Strahlmittelgewichts (M) innerhalb einer definierten Zeitspanne (Dt) bestimmt wird, und die Stellgröße (SG), der tatsächliche Durchsatz (D) und das entsprechende Durchsatzsensorsignal (DS) in einer Zuordnungstabelle abgelegt werden, wobei die Beziehungen zwischen tatsächlichem Durchsatz (D), der Stellgröße (SG) sowie dem Durchsatzsensorsignal (DS) beim darauffolgenden Betrieb verwendet werden. |