发明名称 Röntgendiffraktionsmessapparat mit einem optischen Debye-Scherrer-System und Röntgendiffraktionsmessverfahren für diesen Apparat
摘要 Röntgendiffraktionsmessapparat mit: einem Mittel (10) zu Erzeugung einer charakteristischen Röntgenstrahlung, mit der eine zu messende Probe (S) bestrahlt wird, und einem Röntgenstrahlungsdetektor (30), dadurch gekennzeichnet, dass der Röntgendiffraktionsmessapparat ein Debye-Scherrer-System aufweist, und die Röntgenstrahlung, die auf die Probe (S) gestrahlt wird, zu einem parallelen Strahl vorbestimmten Durchmessers gebündelt ist, der Röntgenstrahlungsdetektor (30) die Probe (S) umgibt, wobei ein Fokussierungsmittel (100) vorhanden is welches zwischen der Probe (S) und dem Röntgenstrahlungsdetektor (30) angeordnet ist, um Röntgenstreustrahlung von der Probe (S) zu sammeln, und welches einen vorbestimmten Winkel in Umfangsrichtung um die Probe (S) abdeckt, wobei das Fokussierungsmittel (100) die Röntgenstrahlung auf den Röntgenstrahlungsdetektor (30) strahlt, wobei das Fokussierungsmittel (100) mit mehreren schwenkbaren Spiegeln versehen ist, die aus künstlichen Mehrschichtsystemen mit einer parabolischen Oberfläche hergestellt sind.
申请公布号 DE102008048917(B4) 申请公布日期 2016.07.28
申请号 DE20081048917 申请日期 2008.09.26
申请人 Rigaku Corp. 发明人 Ozawa, Tetsuya;Matsuo, Ryuji;Fujinawa, Go;Echizenya, Akira
分类号 G01N23/20;G01N23/207 主分类号 G01N23/20
代理机构 代理人
主权项
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