| 主权项 |
1.一种电浆处理装置,其特征在于具备: 处理室; 设置于上述处理室内,相互对向配置之第一电极部 及第二电极部;及 设置于上述第一电极部之上述第二电极部侧,保护 上述第一电极部之保护板; 使上述第一电极部及第二电极部间产生电浆,激励 上述处理室内之反应气体,藉此电浆处理设置于上 述第二电极部之第一电极部侧之被处理物;且 上述保护板之上述第二电极部侧之表面形成为粗 面,上述第一电极部具备含有导电材料之上部电极 及设置于该上部电极与上述保护板间之介电体,上 述介电体系以覆盖上述上部电极之方式而设置。 2.如请求项1之电浆处理装置,其中上述保护板含有 石英或陶瓷。 3.如请求项1之电浆处理装置,其中上述保护板之上 述第二电极部侧之表面系以喷砂处理所形成。 4.如请求项1之电浆处理装置,其中上述电浆处理为 乾式蚀刻。 图式简单说明: 图1系本发明之实施形态之乾式蚀刻装置30的构成 概略图。 图2系表示表面形成为镜面之石英板13a中之分子行 动的模式图。 图3系表示表面形成为粗面之石英板13b中之分子行 动的模式图。 图4系先前之乾式蚀刻装置130的构成概略图。 |
