| 主权项 |
1.一种空气乾燥机的空气乾燥装置,空气乾燥机具 有一过滤器、进气开关,与过滤器连接设排水管, 空气乾燥机设有流量表与压力计,于空气乾燥机所 设的仪表板上可显示相关的读数,乾燥空气可再经 一过滤器再输入于放置晶圆的密闭柜;其特征在于 : 加压/泄压循环装置,其中具有一组并列的第一、 第二管体,第一、第二管体内部的下、上侧分别设 有过滤件,位于一组相对的过滤件间设有多数的乾 燥剂; 三通阀,设置于第一、第二管体下侧,三通阀设有 一进气管与三通阀内部相通,三通阀内设通道分别 可与第一、第二管体相通; 相对于进气管的通道附近设置一钢珠,通道两侧并 位于钢珠侧边设有密封圈与内部具孔的螺丝; 阀座,设于第一、第二管体上侧,其内部具有与第 一、第二管体相通的通道,并设有一输气管; 分别有一中空的单向阀,其上侧与阀座固设,单向 阀下侧设置过滤件,于单向阀侧边设置旁通路。 2.如申请专利范围第1项所述之空气乾燥机的空气 乾燥装置,其中之过滤件呈半球形,一组相对的过 滤件互为反向设置。 3.如申请专利范围第1或2项所述之空气乾燥机的空 气乾燥装置,进一步包括第一阀、第二阀分别设于 三通阀下侧,其分别与三通阀下侧相通,第一阀、 第二阀下侧设有相通的排水管路。 4.如申请专利范围第3项所述之空气乾燥机的空气 乾燥装置,其中于单向阀内部由上至下依序设弹簧 与珠体及密封圈。 图式简单说明: 第一图:系本发明之立体外观图。 第二图:系本发明之立体分解图。 第三图:系本发明当使用于空气乾燥机上的侧视平 面图。 第四图:系本发明当使用于空气乾燥机上的俯视平 面图。 第五图:系本发明之使用实施例的剖面图。 第六图:系本发明之使用实施例的另一剖面图。 |
