电浆蚀刻室用以整合电容性及电感性电源

摘要

本发明之各实施例提供了改良的处理室清理机构。本发明亦用来提供额外之调整蚀刻处理用的调节器。在一实施例中，一种用以产生电浆的电浆处理室包含了具有下电极之下电极组件，其中该下电极系用以容纳基板。电浆处理室亦包含具有上电极及围绕上电极之感应线圈的上电极组件。感应线圈系用以在处理室内所定义的区域中将气体转变为电浆，其中该区域位于被定义在下电极之上表面上方的面积的外部。