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发明名称 CLEANING METHOD OF VIA HOLE
摘要
申请公布号 KR100244709(B1) 申请公布日期 2000.02.15
申请号 KR19960067196 申请日期 1996.12.18
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 KIM, KYUNG JIN
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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