| 发明名称 | 自动管理探针记号偏移的系统和方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了自动管理探针记号偏移的系统和方法。由测试数据确定在一晶片上的一晶粒是否有缺陷。于该晶片上执行一探针记号确认，以确定一探针记号是否偏移。对应于偏移的该探针记号执行一必须的恢复动作。在该探针记号确认中，从该测试数据中选取多个探针记号位置。并确定该多个探针记号位置中是否有至少一个违反一工程规则。 | ||
| 申请公布号 | CN101261285A | 申请公布日期 | 2008.09.10 |
| 申请号 | CN200710106561.X | 申请日期 | 2007.06.06 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 林玮仓;林俊宏;陈聪贤 |
| 分类号 | G01R1/06(2006.01);G01R31/28(2006.01) | 主分类号 | G01R1/06(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈晨 |
| 主权项 | 1. 一种用以自动管理探针记号偏移的方法，其特征是该方法包括：由测试数据确定在一晶片上的一晶粒是否有缺陷；当该晶粒确定为有缺陷时，于该晶片上执行一探针记号确认，以确定一探针记号是否偏移；以及对应于偏移的该探针记号执行一必须的恢复动作。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹市 | ||