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发明名称 SEALED-TUBE DIFFUSION METHOD
摘要
申请公布号 JPH0799166(A) 申请公布日期 1995.04.11
申请号 JP19930242264 申请日期 1993.09.29
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 WATANABE MASAHIDE
分类号 H01L21/223;(IPC1-7):H01L21/223 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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