| 发明名称 |
ELECTROSTATIC LEVITATION TYPE CARRIER DEVICE AND ELECTRODE FOR ELECTROSTATIC LEVITATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07257751(A) |
申请公布日期 |
1995.10.09 |
| 申请号 |
JP19940048175 |
申请日期 |
1994.03.18 |
| 申请人 |
KANAGAWA KAGAKU GIJUTSU AKAD;MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
HIGUCHI TOSHIRO;JIN KIYO;KANEMOTO MANABU |
| 分类号 |
B65G54/02;B65H3/18;B65H5/00;H01L21/677;H01L21/683;H02N1/00;H02N13/00;(IPC1-7):B65G54/02;H01L21/68 |
主分类号 |
B65G54/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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