发明名称 |
METHOD OF DETERMINATION OF RECOMBINATION PARAMETERS OF SEMICONDUCTOR MATERIALS |
摘要 |
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申请公布号 |
RU1356901(C) |
申请公布日期 |
1995.12.20 |
申请号 |
SU19864060392 |
申请日期 |
1986.04.24 |
申请人 |
AMALSKAYA R.M.;GAMARTS E.M.;GANICHEV A.P.;STAFEEV S.K. |
发明人 |
AMALSKAYA R.M.;GAMARTS E.M.;GANICHEV A.P.;STAFEEV S.K. |
分类号 |
H01L21/66;G01R31/26;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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