发明名称 METHOD OF DETERMINATION OF RECOMBINATION PARAMETERS OF SEMICONDUCTOR MATERIALS
摘要
申请公布号 RU1356901(C) 申请公布日期 1995.12.20
申请号 SU19864060392 申请日期 1986.04.24
申请人 AMALSKAYA R.M.;GAMARTS E.M.;GANICHEV A.P.;STAFEEV S.K. 发明人 AMALSKAYA R.M.;GAMARTS E.M.;GANICHEV A.P.;STAFEEV S.K.
分类号 H01L21/66;G01R31/26;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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