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发明名称 ELECTROSTATIC CHUCK
摘要
申请公布号 JPH0855899(A) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 JP19940189217 申请日期 1994.08.11
申请人 KYOCERA CORP 发明人 AIDA HIROSHI;MIKAMI KAZUHIKO;KITAZAWA KENJI
分类号 B23Q3/15;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B23Q3/15
代理机构 代理人
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