发明名称 |
SUBSTRATE DRIVE DEVICE AND THIN FILM FORMING DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0855817(A) |
申请公布日期 |
1996.02.27 |
申请号 |
JP19940212070 |
申请日期 |
1994.08.12 |
申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
MIKAMI TAKASHI;OGATA KIYOSHI |
分类号 |
H01L21/265;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/265 |
主分类号 |
H01L21/265 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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