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发明名称 Herstellungsverfahren für Mikromaschine
摘要
申请公布号 DE69604018(D1) 申请公布日期 1999.10.07
申请号 DE1996604018 申请日期 1996.06.07
申请人 FSI INTERNATIONAL, CHASKA 发明人 MEHTA, JITESH
分类号 H01L21/306;H01L21/311;(IPC1-7):G01P15/08 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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