发明名称 接合装置
摘要 本发明,系一种接合装置,能将接合头部之移动速度更高速化,并使定位精度更高。引线接合机100,在架台12上具备2个线性马达130、140、及用以将接合头部120以流体压支撑成能在平面内移动之头部支撑载台114。线性马达130、140,分别具备驱动部132、142、及可动线圈部134、144,在接合头部120固定从第1线性马达130之可动线圈部134延伸出的臂136,并轴支从第2线性马达140之可动线圈部144延伸出的臂146。对接合头部120透过臂136、146向接合头部之重心施加驱动力,来移动接合头部之位置。
申请公布号 TWI293489 申请公布日期 2008.02.11
申请号 TW092137004 申请日期 2003.12.26
申请人 新川股份有限公司 发明人 角谷修
分类号 H01L21/60(2006.01) 主分类号 H01L21/60(2006.01)
代理机构 代理人 桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 1.一种接合装置,系包含用以对接合对象进行接合 作业之接合头部、及用以将接合头部移动至任意 位置之移动机构;其特征在于: 该移动机构,系包含第1致动器及第2致动器; 该第1致动器,具有能沿线性导件移动之第1可动子 、及用以驱动第1可动子之驱动部;该线性导件,系 被架台支撑成能旋转自如; 该第2致动器,具有能沿线性导件移动之第2可动子 、及用以驱动第2可动子之驱动部;该线性导件,系 被架台支撑成能旋转自如; 在接合头部,固定第1可动子并轴支第2可动子。 2.如申请专利范围第1项之接合装置,其中,该第1致 动器,其驱动部与用以导引第1可动子之线性导件 以成为一体之方式被架台支撑成能旋转自如; 该第2致动器,其驱动部与用以导引第2可动子之线 性导件以成为一体之方式被架台支撑成能旋转自 如。 3.如申请专利范围第1项之接合装置,其中,该第1致 动器,系具有作为第1可动子之第1可动线圈、及包 含给予第1可动线圈链接磁通量之磁铁且固定于架 台之驱动部,第1可动线圈之大小系设定成,藉由第1 可动线圈之旋转及直线移动不致改变给予第1可动 线圈之链接磁通量; 该第2致动器,系具有作为第2可动子之第2可动线圈 、及包含给予第2可动线圈链接磁通量之磁铁且固 定于架台之驱动部,第2可动线圈之大小系设定成, 藉由第2可动线圈之旋转及直线移动不致改变给予 第2可动线圈之链接磁通量。 4.一种接合装置,系包含用以对接合对象进行接合 作业之接合头部、及用以将接合头部移动至任意 位置之移动机构;其特征在于: 移动机构,系包含第1致动器及第2致动器; 该第1致动器,具有被滑台支撑成能旋转自如之作 为第1可动子的第1可动线圈、及包含给予第1可动 线圈链接磁通量之磁铁且固定于架台之驱动部;该 滑台,系能沿固定于架台之线性导件移动;该第1可 动线圈之大小系设定成,藉由第1可动线圈之旋转 及直线移动不致改变给予第1可动线圈之链接磁通 量; 该第2致动器,具有被滑台支撑成能旋转自如之作 为第2可动子的第2可动线圈、及包含给予第2可动 线圈链接磁通量之磁铁且固定于架台之驱动部;该 滑台,系能沿固定于架台之线性导件移动;该第2可 动线圈之大小,系设定成藉由第2可动线圈之旋转 及直线移动不致改变给予第2可动线圈之链接磁通 量; 在接合头部,固定第1可动子,并轴支第2可动子。 5.如申请专利范围第1项至第4项中任一项之接合装 置,其中,该第1可动子之旋转中心连到第1可动子之 固定于接合头部之固定点的直线、与第2可动子之 旋转中心连到第2可动子之轴支于接合头部之轴支 点的直线,两线的交点系大致与接合头部之重心位 置一致。 6.如申请专利范围第1项至第4项中任一项之接合装 置,其中,该接合头部系藉由流体压支撑于架台。 7.如申请专利范围第1项至第4项中任一项之接合装 置,其中,该架台,系用以藉由流体压来支撑接合头 部之流体压支撑架台。 8.如申请专利范围第1项或第2项之接合装置,其中, 该架台,系以悬吊之方式支撑接合头部之悬吊架台 。 9.如申请专利范围第1项至第4项中任一项之接合装 置,系具备: 第1感测器,用以检测第1可动子之位置; 第2感测器,用以检测第2可动子之位置; 位置算出机构,根据第1感测器之检测资料及第2感 测器之检测资料,将接合头部之位置当作相对架台 之直角座标系的位置来算出;及 控制机构,根据所算出之直角座标系之位置来进行 接合头部之位置控制。 图式简单说明: 图1,系本发明实施形态之引线接合机的俯视图,尤 其表示接合头部之移动机构的图。 图2,系本发明实施形态之引线接合机的侧视图。 图3,系在本发明之实施形态表示接合头部被流体 压支撑之情形。 图4,系表示接合头部之流体压支撑之其他例。 图5,系表示接合头部之流体压支撑之更其他例。 图6,系本发明实施形态之第1线性马达及第2线性马 达之共同部分的详细图。 图7,系在本发明之实施形态说明接合头部之移动 轨迹的图。 图8,系在本发明之实施形态说明接合头部之移动 轨迹的图。 图9,系在本发明之实施形态说明接合头部之移动 轨迹的图。 图10,系其他实施形态之第1线性马达及第2线性马 达之共同部分的详细图。 图11,系在其他实施形态说明接合头部之移动轨迹 的图。 图12,系在其他实施形态说明接合头部之移动轨迹 的图。 图13,系在其他实施形态说明接合头部之移动轨迹 的图。 图14,系在其他实施形态,使用架台之引线接合机的 侧视图,该架台,系以悬吊之方式支撑接合头部。 图15,系习知之引线接合机的接合头部之移动机构 的俯视图。
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