缺陷检查装置及缺陷检查方法

摘要

本发明系有关于一种可缩短制造程序的前置时间之缺陷检查装置及缺陷检查方法。控制部系在已搬入基板的检查时，生成用以识别基板上的缺陷之缺陷资讯。在进行检查后，前述控制部比较该检查所生成之缺陷资讯与基板下层的层检查时所生成之缺陷资讯，生成用以识别除了与前述下层的层缺陷重覆之重覆缺陷以外，最上层的层N上所发生的缺陷之注目缺陷资讯。判断部依据自资料演算部输出之前述最上层的层N的注目缺陷资讯，判断基板的搬出目的地，再通知前述控制部。