追踪式激光干涉仪

摘要

一种追踪式激光干涉仪，向被测定体的后向反射器照射激光束，利用后向反射器返回方向反射的激光束的干涉检测后向反射器的位移，利用激光束光轴位置变化进行追踪，其具有：固定设置的基准球；以基准球中心为中心转动的滑架；设置在滑架上输出对应后向反射器位移的位移信号的激光干涉仪以及输出对应基准球和位移计相对位移的位移信号的位移计；从位移计输出的位移信号和激光干涉仪输出的位移信号算出以基准球为基准的后向反射器位移的数据处理装置；输出对应偏移量输出位置信号的位置检测装置；使偏移量为零控制滑架转动的控制装置。相对旋转机构的径向跳动可靠，不易受到基准球表面的瑕疵或尘埃的影响，实现了使用较廉价基准球的追踪式激光干涉仪。

主权项

1.一种追踪式激光干涉仪，其向作为被测定体的后向反射器照射，利用该后向反射器向返回方向反射的激光束的干涉检测后向反射器的位移，并且利用上述激光束的光轴的位置的变化进行追踪，其特征在于：具有：固定设置的基准球；以该基准球的中心作为中心转动的滑架；设置在该滑架上的输出对应上述后向反射器的位移的位移信号的激光干涉仪以及输出对应上述基准球和位移计的相对位移的位移信号的位移计；根据该位移计输出的位移信号和激光干涉仪输出的位移信号算出将基准球作为基准的后向反射器的位移的数据处理装置；上述后向反射器反射并返回到激光干涉仪的激光束，在与该光轴正交的方向上偏移时，输出对应该偏移量的输出位置信号的位置检测装置；根据来自该位置检测装置的位置信号，控制滑架转动以使上述偏移量为零的控制装置。