| 摘要 |
집적 회로는 프로세스 센서, 온도 센서 및 전압 센서를 포함한다. 프로세스 센서는 집적 회로가 형성된 반도체 프로세스를 표시하는 프로세스 파라미터를 감지하고, 감지된 프로세스 파라미터에 기초하여, 반도체 프로세스의 특성화를 프로세스 센서의 출력에 제공하도록 구성된다. 온도 센서는 온도 센서의 출력에 집적 회로의 온도 표시를 제공하도록 구성되고, 전압 센서는 전압 센서의 출력에 집적 회로의 전원 전압 레벨 표시를 제공하도록 구성된다. 프로세스 센서의 출력은 온도 표시 및 전원 전압 레벨 표시 중 적어도 하나를 보상하기 위해 온도 센서 및 전압 센서 중 적어도 하나에 커플링된다. |
