| 发明名称 | 微流量计和用于制造微流量计的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种流量计，该流量计包括通过通道（12）互连的第一腔（11）和第二腔（13），所述第一腔设置有第一可变形的膜片（11＇）以及第一应变计（R1）和第二应变计（R2），所述第二腔（13）设置有第二可变形的膜片（13＇）以及第三应变计（R3）和第四应变计（R4），所述四个应变计形成单臂电桥。 | ||
| 申请公布号 | CN103635783B | 申请公布日期 | 2016.06.22 |
| 申请号 | CN201280032800.0 | 申请日期 | 2012.04.27 |
| 申请人 | 原子能和替代能源委员会 | 发明人 | Y·弗伊莱特;艾伦·布格雷特;奥利维尔·富赫斯 |
| 分类号 | G01F1/38(2006.01)I;G01R7/16(2006.01)I | 主分类号 | G01F1/38(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人 | 归莹;张颖玲 |
| 主权项 | 一种流量计，包括通过通道(12)连接的第一腔(11)和第二腔(13)：所述第一腔设置有包括第一可变形的膜片(11＇)的壁，所述第一可变形的膜片(11＇)沿所述第一腔室中的流体的流动方向延伸，并且所述第一腔设置有位于所述第一可变形的膜片上或所述第一可变形的膜片中的第一应变计(R1)和第二应变计(R2)；所述第二腔(13)设置有包括第二可变形的膜片(13＇)的壁，所述第二可变形的膜片(13＇)沿所述第二腔室中的流体的流动方向延伸，并且所述第二腔(13)设置有位于所述第二可变形的膜片上或所述第二可变形的膜片中的第三应变计(R3)和第四应变计(R4)，所述四个应变计形成单臂电桥，当流体经过所述第一腔、然后经过所述通道、然后经过所述第二腔流动时，所述第一腔和所述第二腔之间的压差能够通过所述单臂电桥来测量；其中，每个应变计被用于提供表征相应膜片的变形的信号。 | ||
| 地址 | 法国巴黎 | ||