发明名称 APPARATUS FOR HOLDING AND PRESSING SEMICONDUCTOR PACKAGE
摘要 본 발명은, 댐퍼 유닛; 상기 댐퍼 유닛에 연결되고, 자세 정렬되도록 구성되는 센터링 유닛; 반도체 패키지를 흡착하도록 구성되는 흡착 유닛; 및 상기 센터링 유닛과 상기 흡착 유닛 사이에서 그들을 연결하고, 상기 흡착 유닛에 대면 배치된 판상형 히터를 구비하는 히팅 유닛을 포함하는, 반도체 패키지 흡착 가압 장치를 제공한다.
申请公布号 KR101637524(B1) 申请公布日期 2016.07.07
申请号 KR20140190747 申请日期 2014.12.26
申请人 주식회사 티에프이 发明人 최상일;김인호
分类号 H01L21/447;H01L23/12 主分类号 H01L21/447
代理机构 代理人
主权项
地址