发明名称 進歩したウェーハ表面ナノトポグラフィのためのオブジェクトに基づく計測方法及びシステム
摘要 A system and method for enhanced and expanded localized geometry characterization. Objects of interest are enhanced, detected, and classified according to user-defined parameters, and this enables enhanced contrast and more accurate feature detection, as well as more accurately defined feature object regions for feature geometry measurement and characterization.
申请公布号 JP5963774(B2) 申请公布日期 2016.08.03
申请号 JP20130549473 申请日期 2012.01.08
申请人 ケーエルエー−テンカー コーポレイション 发明人 チェン ハイグアン;シンハ ジャイディープ ケイ;カメンスキイ セルゲイ
分类号 H01L21/66;G01B11/02;G01B11/24 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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