发明名称 CASSETTE SUPPLYING SYSTEM
摘要 카세트 공급시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 카세트 공급시스템은, 카세트가 적재되는 적재유닛; 복수의 적재유닛들 주변에 마련된 순환레일을 따라 주행하며, 카세트를 이송하는 이송대차; 및 복수의 상기 적재유닛들 상호 간 또는 적재유닛과 이송대차 상호 간을 연결하는 연속된 주행레일을 따라 왕복운동 가능하게 마련되어 카세트를 이송하는 이송셔틀을 포함한다.
申请公布号 KR101658057(B1) 申请公布日期 2016.09.20
申请号 KR20140193488 申请日期 2014.12.30
申请人 주식회사 에스에프에이 发明人 이종태;전현수;유장원
分类号 H01L51/56;H01L21/677 主分类号 H01L51/56
代理机构 代理人
主权项
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