堆叠结构以及以此堆叠结构图案化的方法

摘要

一种用于图案化之堆叠结构，用以在一材料层中形成一开口图案，该开口图案具有一预定之开口宽度。此堆叠结构包括一底层、一多矽有机层与一光阻层，其中底层位于该材料层上；多矽有机层介于底层与光阻层之间，光阻层的厚度小于底层的厚度但大于多矽有机层厚度的2倍，底层的厚度则小于预定之开口宽度的3倍。