| 摘要 |
本发明系一种微影投影照明设备用的照明系统，这种照明系统具有：--一个对出射光瞳面(121)进行照明的光源，这个光源发出的光线在波长范围≦100nm，而且最好是在EUV波长范围；--一个元件，这个元件至少可以将出射光瞳面(121)的一个第一种照明(22)改变成一个第二种照明(24)，以及至少一个侦测光线用的侦测器(106.1，106.2)；这种照明系统的特征为：具有一个装置(164)，这个装置(164)至少可以接收侦测器(106.1，106.2)发出的一个光强度信号，并至少可以根据这个接收到的光强度信号产生一个控制信号(166)，这个控制信号(166)可以调整微影投影照明设备之像平面(221)上的一个光敏基板的扫瞄速度。 |
