| 摘要 |
本发明系一种几乎不致降低刚性、强度或平面度等之特性，而可达成进一步减轻重量的载台装置。一种沿着晶圆基座(BS)而驱动经由晶圆固定器(25)而保持晶圆(W)之晶圆载台(WST)的晶圆载台系统，系由将包含反射位置计测用之侧长光束(LWY)的反射面(56Y)之部分作为高密度部(25a)，将其以外之部分作为低密度部(25b)之密度分布不一的材料，形成晶圆固定器(25)，且由将包含构成气体轴承之面的部分作为高密度部(WSTa)，将其以外之部分作为低密度部(WSTb)之密度分布不一的材料，形成晶圆载台(WST)。 |
