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CONTACT PROBE FOR SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号
JPH02141680(A)
申请公布日期
1990.05.31
申请号
JP19880296712
申请日期
1988.11.22
申请人
NEC YAMAGATA LTD
发明人
SAITO MINORU
分类号
G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;H05K9/00
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
地址
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