发明名称 CONTACT PROBE FOR SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH02141680(A) 申请公布日期 1990.05.31
申请号 JP19880296712 申请日期 1988.11.22
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 SAITO MINORU
分类号 G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;H05K9/00 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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