| 发明名称 |
METAL THIN FILM TAPER ETCHING METHOD AND HIGH FILM TRANSISTOR STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04261019(A) |
申请公布日期 |
1992.09.17 |
| 申请号 |
JP19910015293 |
申请日期 |
1991.02.06 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MAEJIMA TARO;HAYAMA MASAHIRO |
| 分类号 |
H01L21/306;C23F1/00;C23F1/02;G03F7/11;G03F7/40;H01L21/28;H01L21/3213;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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