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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR PLASMA ETCHING
摘要
申请公布号 JPH0637056(A) 申请公布日期 1994.02.10
申请号 JP19920213306 申请日期 1992.07.16
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 ABE MASATOSHI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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