| 发明名称 |
SPUTTERING METHOD FOR MATERIAL ON SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08104983(A) |
申请公布日期 |
1996.04.23 |
| 申请号 |
JP19950193446 |
申请日期 |
1995.07.28 |
| 申请人 |
BOC GROUP INC:THE |
发明人 |
SOORABU ZAARABIAN;ROBAATO TERII;JIEESHII DEII UORUFU |
| 分类号 |
C23C14/10;C23C14/00;C23C14/34;C23C14/54;H01L21/203;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
C23C14/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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