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发明名称 Vakuumbehandlungsvorrichtung zum Aufbringen dünner Schichten
摘要
申请公布号 DE19715245(A1) 申请公布日期 1998.10.15
申请号 DE19971015245 申请日期 1997.04.12
申请人 LEYBOLD SYSTEMS GMBH, 63450 HANAU, DE 发明人 MAIDHOF, HANS, 63773 GOLDBACH, DE;SCHUESSLER, HANS, 66578 SCHIFFWEILER, DE;KUNKEL, STEFAN, 63457 HANAU, DE;BEUL, JOHANNES, 56479 REHE, DE;HENRICH, JUERGEN, 63694 LIMESHAIN, DE
分类号 C23C14/24;C23C14/50;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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