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发明名称 Elektronenquelle für ein Mehrstrahl-Elektronenlithographie-System
摘要
申请公布号 DE69611218(T2) 申请公布日期 2001.05.23
申请号 DE19966011218T 申请日期 1996.07.25
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 PARKER, N. WILLIAM
分类号 H01L21/027;B82B1/00;H01J37/073;(IPC1-7):H01J37/317;H01J1/30;H01J31/12 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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