改善快速退火一致性之模拟形状之可变重叠

摘要

本发明的实施例提供模拟形状之可变重叠之方法、结构与服务等，以改善快速退火的一致性。一种在快速退火制程期间对于跨一晶圆之一有限区域提供一致温度至晶圆之有限区域的方法，包含藉由测量第一部分中第一结构的密度，以决定在有限区域中第一部分的第一反射性。其次，该方法藉由测量第二部分中第二结构的密度，以决定有限区域中第二部分的第二反射性。特别是，第一结构包含扩散填充形状与多晶矽导体填充形状(非主动模拟结构)，且第二结构包含主动电路结构。