一种蒸汽干燥系统及其排水装置和方法

摘要

本发明公开一种蒸汽干燥系统，其包括蒸汽干燥槽和排水装置；该蒸汽干燥系统的排水装置包括：排放管；通路切换单元，其第一端连接于该排放管，用于将来自排放管的流体进行分流；第一排放通道，连接于该通路切换单元的第二端；第二排放通道，连接于该通路切换单元的第三端；控制单元，用于根据该蒸汽干燥系统的状态生成控制信号来控制该通路切换单元，选择性使得排放管连通第一排放通道或者第二排放通道。本发明还公开一种蒸汽干燥系统的排水方法。本发明根据系统的状态对其中的DIW进行分别排放，实现部分DIW的再循环利用，降低DIW的消耗量，提高晶片成本效益。

主权项

1.一种蒸汽干燥系统，包括蒸汽干燥槽、排放管；其特征在于，还包括：通路切换单元，其第一端连接于该排放管，用于将来自排放管的流体进行分流；第一排放通道，连接于该通路切换单元的第二端；第二排放通道，连接于该通路切换单元的第三端；控制单元，用于根据该蒸汽干燥系统的状态生成控制信号来控制该通路切换单元，当蒸汽干燥系统处于空闲状态时，通路切换单元的第一端和第二端之间的通路打开，而关闭其第一端和第三端之间的通路，使得进入第一排放通道的去离子水直接回到蒸汽干燥系统进行循环再利用、或者经过回收处理后再循环利用；当蒸汽干燥系统处于运行状态时，通路切换单元的第一端和第三端之间的通路打开，而关闭其第一端和第二端之间的通路。