| 摘要 |
进行压印微影术的方法包括使用压印微影术工具之一部分的一影像及一基板之一部分，以及一附加压印微影术工具之一部分的一附加影像及基板之一部分，计算针对一压印微影术工具的一位移向量。校准物体的方法包括将一第二物体定位在最接近一第一物体处，以及获得一第一影像图示位在第二物体之一表面上的一部件及位在第一物体之一表面上的一部件。一附加物体系定位在最接近第一物体处，以及获得一附加影像其图示位在附加物体之一表面上的一部件以及位在第一物体之表面上的部件。将附加影像与第一影像比较。压模模具包括至少一未标记参考部件位在压模模具之一压模表面上。 |
