发明名称 |
Device for accommodating substrates |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2003224015(B2) |
申请公布日期 |
2009.01.29 |
申请号 |
AU20030224015 |
申请日期 |
2003.03.31 |
申请人 |
ASTEC HALBLEITERTECHNOLOGIE GMBH |
发明人 |
MATTHIAS NIESE;JURGEN SCHWECKENDIEK;JORG FRANZKE |
分类号 |
B65G49/04;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/673;H01L21/683 |
主分类号 |
B65G49/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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