| 摘要 |
본 개시는 나노-갭 전극을 형성하기 위한 방법을 제공한다. 일부 경우들에서, 측벽의 막 두께에 의해 조절되는 폭을 가진 나노-갭은 제 1 전극-형성 부분과 제 2 전극-형성 부분 사이에, 마스크로서 제 1 전극-형성 부분과 콘택하는 측벽을 사용하여 형성될 수 있다. 그 다음 제 1 전극-형성 부분, 측벽 및 제 2 전극-형성 부분의 표면들이 노출될 수 있다. 그 다음 측벽은 제 1 전극-형성 부분과 제 2 전극-형성 부분 사이에 나노-갭을 형성하도록 제거될 수 있다. |
