| 摘要 |
본 발명은 반도체/LED/LCD 세정 기술에서 사용되는 세정 장비의 싱크부 누수 보수 보강 방법에 관한 것이다.본 발명은 반도체/LED/LCD 세정 장비의 싱크부 누수 보수 보강 방법에 있어서, 상기 세정 장비의 싱크부를 크리닝하고, 싱크부의 누수 부위를 보강하는 1차 보강 단계(S100)와; 상기 싱크부의 바닥면에 실란트로 하부 보강층을 형성하는 2차 보강 단계(S200)와; 상기 하부 보강층의 상부 및 싱크부의 벽면에 자외선 경화 코팅제로 중간 보강층을 형성하는 3차 보강 단계(S300)와; 상기 중간 보강층의 표면에 자외선 경화 코팅제로 상부 보강층을 형성하는 4차 보강 단계(S400);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. |
