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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS FORMATION METHOD
摘要
申请公布号
JPH04276659(A)
申请公布日期
1992.10.01
申请号
JP19910038279
申请日期
1991.03.05
申请人
HITACHI LTD
发明人
SHIBA KAZUYOSHI
分类号
H01L27/112;H01L21/82;H01L21/8246
主分类号
H01L27/112
代理机构
代理人
主权项
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