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发明名称
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申请公布号 JPH0793306(B2) 申请公布日期 1995.10.09
申请号 JP19870195856 申请日期 1987.08.05
申请人 NIPPON DENSO CO 发明人 WATANABE JUSUKE;SHIGETA HACHIRO;TANAKA KAZUO;RIKUI SATOSHI;ABE KICHIJI;MAYAMA KEIJI
分类号 H01L21/60;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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