发明名称 SILANE COMPOUND AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH0959284(A) 申请公布日期 1997.03.04
申请号 JP19950239247 申请日期 1995.08.24
申请人 TONEN CORP 发明人 TAKI NORIYUKI;NAKAJIMA MASASHI;IMANISHI KUNIHIKO;MURATA MASAHIDE
分类号 C07F7/18;(IPC1-7):C07F7/18 主分类号 C07F7/18
代理机构 代理人
主权项
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