发明名称 HIGH FREQUENCY MEASURING JIG
摘要
申请公布号 JPH11153644(A) 申请公布日期 1999.06.08
申请号 JP19970318109 申请日期 1997.11.19
申请人 NEC CORP 发明人 KAMAHORI HIDEO
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址