| 发明名称 |
Process for the manufacture of a wiring for contact holes |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Verdrahtung für Kontaktlöcher, wobei zum Ausbilden einer Al-GeCu-haltigen zweiten Verdrahtungsschicht (5) an der Oberfläche einer Isolationsschicht (2) ein Niedertemperatur-PVD-Verfahren zum Auffüllen von Kontaktlöchern (3) verwendet wird. Auf Grund der dabei ausgebildeten relativ kleinen Korngrößen und Ausscheidungen kann diese Schicht in einem nachfolgenden Strukturierungsschritt unmittelbar strukturiert werden, wodurch man eine äußerst zuverlässige Verdrahtung auf kostengünstige Art und Weise mit einfacher Integrierbarkeit in bestehende Prozess-Abläufe erhält. <IMAGE></p> |
| 申请公布号 |
EP1168431(A2) |
申请公布日期 |
2002.01.02 |
| 申请号 |
EP20010115187 |
申请日期 |
2001.06.22 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
BUERKE, AXEL;SCHMIDBAUER, SVEN;HAHN, JENS, DR. |
| 分类号 |
H01L21/285;H01L21/768;H01L23/532;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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