由介晶膜淀积材料的方法

摘要

描述了一种无需光刻胶即可制备金属氧化物、金属或其它含金属化合物的图案化膜的方法。该方法包括涂覆金属络合物的薄膜层，导致形成了液晶膜。该膜可被光分解，产生的化学反应导致形成了金属或金属氧化物膜。所使用的金属络合物是光反应性的，并且存在适宜波长的光时会发生化学反应。反应的最终产物取决于反应发生的气氛。可在空气中制成氧化物膜。可通过仅将所选择的膜部分暴露于光而得到图案化的膜。通过在不同的气氛中将膜的不同部分暴光，可在相同的膜上淀积两种或多种材料的图案。

主权项

1.一种在基体上制造含金属材料的图案的方法，该方法包括：(a)将金属络合物的介晶膜涂覆于基体表面上；(b)在第一气氛中，将所述膜具有第一形状的第一区域膜暴露于来自第一源的电磁辐射，以使所述第一区域的所述金属络合物进行光化学反应，所述反应将所述第一区域的所述金属络合物转化为粘结于所述基体的第一含金属材料和一种或多种配体副产物，所述副产物的至少一部分可在所述光化学反应过程中被除去，其中所述图案包括所述第一形状；和非必要地(c)除去所述金属络合物的未反应部分以及光化学反应过程中未被除去的一种或多种配体副产物的剩余部分。